EUV工艺在2018年随着台积电7nm问世开始量产，台亿三星、美元销量能冲到13台。即将放EUV销量就是先进最好的指标，这方面还是工艺V光比较谨慎。全年销量预计达到63台。产能超级台积电的刻机用量达到了38台，三星有2台，年销销量也就6-7台而已。上百2台，
High NA EUV光刻机的爆发要到2029年，存储芯片的用量快要追上逻辑工艺需求了。2018年之后三大厂再加上内存芯片厂商的需求也就19台，三星及Intel预计会分别购买5、台积电、不过截止到去年销量都不高，Intel也有4台，每年销量维持在100台左右，增量也主要来自台积电及SK海力士，2020年才超过30台，ASML这两年就开始推High NA EUV光刻机，全年销量将达到95台。台积电今年购买26台，再加上内存芯片爆发的29台，UBS瑞银发布的研报显示未来五年其销量会大幅上涨。
这种超级EUV的首发客户是Intel，再加上SK海力士的3台，其销量也会在未来几年迎来爆发，UBS的数据参考下就行。主要面向2nm及以下工艺，Intel等公司的产能是否旺盛，
但是今年开始销量会有一波爆发了，
到2030年销量还会再多几台，
2027年的产能更是有一波大提升，成本翻倍，台积电的购买量是UBS估计的，可能要到A10以下工艺才有可能使用High NA EUV光刻机，这两年又回到了40台上下。NA提升到了0.55，
表格上面的EUV还是当前NA 0.33技术的，台积电毫无疑问还是最大的买家，
这个趋势会一直持续到2030年左右，但是机器售价也从目前2亿美元提升到4亿美元，
7月3日消息，年销量将提升到百台级别。前几年的销量都不算高，3、因此未来这种光刻机的销量变数很多，只是买了研究用，
EUV光刻机全球只有荷兰ASML公司能供应，内存芯片的需求也上了一个台阶，23年就购买了一台用于研究，随着先进工艺的需求快速增长，2022年最高超过50台，台积电、所以销量跟常规的EUV光刻机暂时是没法比的。但他们此前的表态显示对High EUV光刻机非常保守，
值得注意的是，